[ 引言 ]

半導(dǎo)體制造設(shè)備的常識(shí)被打破的時(shí)刻即將來(lái)臨。

半導(dǎo)體是現(xiàn)代社會(huì)中不可或缺的東西。所謂半導(dǎo)體，就是在晶片（基板）上刻畫(huà)細(xì)微的電子回路使其具備一定功能。主要用途有存儲(chǔ)（記憶）、邏輯（計(jì)算）、感應(yīng)（認(rèn)知）等。從智能手機(jī)、電腦到家電、汽車等等，我們身邊它無(wú)處不在，而IoT以及在各種領(lǐng)域都引人注目的AI的發(fā)展也離不開(kāi)它。

現(xiàn)如今用智能手機(jī)拍攝視頻并保存已是再普通不過(guò)的事，但曾經(jīng)，手機(jī)連圖像都不能處理，能保存的只有文字?jǐn)?shù)據(jù)。從文字到圖像再到視頻，能處理大量數(shù)據(jù)是由于有半導(dǎo)體芯片的驚人進(jìn)化。要想在晶片的同樣面積上刻畫(huà)更多電子回路以增加記錄的信息量，就需要把電子回路做得更細(xì)才行。在半導(dǎo)體的世界里，我們把它稱作電子回路的“細(xì)微化”。

迄今為止，半導(dǎo)體行業(yè)里的這種細(xì)微化已經(jīng)有了飛躍發(fā)展，但是近年來(lái)，它在技術(shù)上已經(jīng)出現(xiàn)了難以突破的瓶頸。而此時(shí)新登場(chǎng)的，就是在納米*級(jí)別壓?。╥mprint）掩膜（模子），從而制作電子回路圖形的“納米壓印”技術(shù)。它和已經(jīng)出現(xiàn)瓶頸的以往方式有很大區(qū)別，是通過(guò)另一種技術(shù)實(shí)現(xiàn)細(xì)微化的新一代制造技術(shù)。佳能開(kāi)發(fā)了使用這種技術(shù)的批量生產(chǎn)設(shè)備。這個(gè)設(shè)備“FPA-1200NZ2C”已經(jīng)向半導(dǎo)體器方面的知名企業(yè)東芝Memory供貨。

那么這個(gè)“納米壓印”到底使用的是什么樣的技術(shù)？與以往的方式到底區(qū)別在哪里？還有就是它能給我們的生活帶來(lái)什么？帶著這些問(wèn)題，我采訪了擔(dān)任該技術(shù)研發(fā)的工程師們。

* 1nm（納米）：10億分之1米 

以下內(nèi)容登錄后瀏覽

[ 此次“訪談”的研發(fā)人員 ]

——在采訪關(guān)于納米壓印的故事前，請(qǐng)先給我們介紹一下關(guān)于以往半導(dǎo)體制造設(shè)備所擔(dān)當(dāng)?shù)慕巧伞?/p>

日下 敦之

通常半導(dǎo)體芯片的制作方法是，在從半導(dǎo)體晶硅切割出的很薄的圓狀晶片上，反復(fù)進(jìn)行成膜、曝光、顯影、注入負(fù)離子等處理，從而生產(chǎn)出半導(dǎo)體芯片。而佳能研發(fā)和制造的半導(dǎo)體制造設(shè)備所擔(dān)任的是實(shí)際印制電子回路圖形的曝光工作，是較能給半導(dǎo)體芯片的細(xì)微化和生產(chǎn)效率的提高帶來(lái)影響的重要工序之一。

半導(dǎo)體芯片的制作過(guò)程

① 在晶片上印制電子回路圖形

向光罩投射光，從而將電子回路圖形曝光到晶片上。通過(guò)透鏡將光縮小，這樣就可以畫(huà)出更細(xì)的線。電子回路的線畫(huà)得越細(xì)，一個(gè)半導(dǎo)體芯片中放入的半導(dǎo)體元件就可以越多，從而就能成為高性能、高功能的半導(dǎo)體芯片。

——采用納米壓印方式的半導(dǎo)體制造設(shè)備是怎么研發(fā)出來(lái)的？

中山 貴博

佳能著手該項(xiàng)研發(fā)是在2004年。那時(shí)細(xì)微化進(jìn)展出現(xiàn)停滯的問(wèn)題已經(jīng)是半導(dǎo)體行業(yè)內(nèi)外都在議論的話題，大家希望出現(xiàn)能代替以往半導(dǎo)體制造設(shè)備的新東西。半導(dǎo)體制造設(shè)備各廠家研究了采用波長(zhǎng)13.5納米的極端紫外線作為曝光光源的EUV（Extreme Ultraviolet）方式，以及通過(guò)電子線描畫(huà)電子回路圖形的EB（Electron Beam）方式等等。但是卻碰到了諸多問(wèn)題，例如：這些方式復(fù)雜的構(gòu)造導(dǎo)致價(jià)格昂貴，以及這些方式的生產(chǎn)效率很難提高等等。 

于是佳能就趕緊開(kāi)始研究能簡(jiǎn)單小巧且低成本地制造芯片的納米壓印方式。佳能公司內(nèi)部組建了小規(guī)模的納米壓印研發(fā)隊(duì)伍，較開(kāi)始連在公司內(nèi)部都是嚴(yán)格保密的項(xiàng)目。之后在2014年，一直在搞納米壓印基礎(chǔ)技術(shù)研發(fā)的美國(guó)Molecular Imprints公司（現(xiàn)Canon Nanotechnologies公司）加入佳能集團(tuán)的消息對(duì)外公開(kāi)，這樣公司內(nèi)外才知道了佳能正在推進(jìn)對(duì)納米壓印方式的研發(fā)。

首藤 伸一

我是在半途加入研發(fā)隊(duì)伍的，當(dāng)我知道實(shí)際真要搞的時(shí)候，說(shuō)實(shí)話，我真懷疑這么精密的東西能不能搞出來(lái)。

——你這樣懷疑是有理由的吧，能告訴我納米壓印方式與以往方式有怎樣的不同，它的難點(diǎn)在哪里嗎？

首藤 伸一

以往的設(shè)備是使用光來(lái)印制電子回路圖形，而納米壓印方式的特點(diǎn)是把電子回路圖形像蓋章那樣蓋上的。把液滴狀的刻膠（樹(shù)脂）涂到晶片上，然后將掩膜按壓（壓?。┰诳棠z上，并重復(fù)疊加進(jìn)行此種按壓。這之后經(jīng)過(guò)將掩膜從刻膠分離的“離?！惫ば颍鞒鲭娐穲D形。以往的制作過(guò)程是“非接觸”，而現(xiàn)在變成了“接觸”，這是納米壓印方式與以往方式較大的不同點(diǎn)。 

納米壓印方式的特點(diǎn)

中山 貴博

壓印掩膜的優(yōu)點(diǎn)在于能印制出高分辨率的清晰電子回路圖形。
還有，納米壓印方式由于不需要那些用光進(jìn)行曝光的設(shè)備所使用的光源以及大口徑透鏡組，所以可以把設(shè)備自身作得簡(jiǎn)單廉價(jià)而且小巧。由于設(shè)備小，所以可以把多臺(tái)納米壓印設(shè)備排列在一起來(lái)使用，從而可以提高生產(chǎn)效率。

小笠原 昌輝

納米壓印方式是制作納米單位的圖形。一般都說(shuō)人類頭發(fā)的直徑是100微米，那也就是說(shuō)如果每隔20納米寬刻畫(huà)1條電子回路，那么這樣1根頭發(fā)的橫斷面積上能畫(huà)出5000條電子回路。我們嘗試要蓋上的，是與大家想象的蓋章完全不可相提并論的細(xì)微圖形。 

日下 敦之

以往設(shè)備使用的模子是實(shí)際電子回路的4倍大，用透鏡將其縮小后曝光印制在晶片上。而納米壓印方式是直接按壓模子，所以模子與電子回路是等倍大小。所以簡(jiǎn)單算就是精度要求提高了4倍，而且像剛才與頭發(fā)絲比較的例子中說(shuō)的，電子回路要非常細(xì)微。而且，小小的掩膜與晶片對(duì)準(zhǔn)位置方面也要求要有很高的精度。

——有這么大的難度，你們?nèi)匀灰慵{米壓印方式，這是出于什么理由？ 

小笠原 昌輝

是因?yàn)楫?dāng)時(shí)在有可能替代以往設(shè)備的各種方式中，看樣子較能滿足顧客需求的就是納米壓印方式了。也有其它可以實(shí)現(xiàn)細(xì)微過(guò)程的方式。但是那些設(shè)備需要巨大的成本，其結(jié)果會(huì)導(dǎo)致搭載半導(dǎo)體芯片的手機(jī)、電腦等商品變得價(jià)格昂貴。所以那時(shí)我想，佳能研發(fā)出納米壓印方式的設(shè)備，就可以讓人們更廉價(jià)地使用各種商品和服務(wù)。還有就是在當(dāng)初著手此項(xiàng)研發(fā)時(shí)，佳能在半導(dǎo)體制造設(shè)備領(lǐng)域與其它公司存在差距，正處于困難之中。所以佳能想讓納米壓印方式早早進(jìn)入實(shí)用化階段，這樣就可以成為行業(yè)內(nèi)的第一。

——在實(shí)際進(jìn)行研發(fā)時(shí)是怎么解決難題的？首先，請(qǐng)講一講關(guān)于刻膠的噴涂吧。

首藤 伸一

以往的設(shè)備是在晶片的表面均勻地形成光刻膠膜。
可是納米壓印的話，是只在需要的地方有針對(duì)地噴涂液滴狀刻膠。這方面的控制并不容易，要對(duì)飛行的液滴量和狀態(tài)進(jìn)行測(cè)量，在控制部分我們成功地利用了佳能在打印機(jī)方面積累的噴墨技術(shù)。 

——關(guān)于壓印過(guò)程又怎么樣呢？

小笠原 昌輝

壓印過(guò)程中成問(wèn)題的是在晶片和掩膜之間會(huì)進(jìn)入空氣。想象一下在手機(jī)屏幕貼保護(hù)膜就容易明白，是很不容易貼好的。納米壓印也是如此，晶片和掩膜之間一旦進(jìn)入空氣，就不能正確地制作電子回路圖形了。 

中山 貴博

掩膜是又厚又硬的，但是我們把掩膜中心部分作得比四周薄，讓掩膜稍微有彎曲。這樣的話，較先是晶片與掩膜的中心部分貼緊，然后放射狀地?cái)U(kuò)大貼緊的面積。這樣空氣就可以被擠到外面去了。
還有，不管晶片的狀態(tài)如何，都需要壓印到事先設(shè)計(jì)的位置。晶片看上去好像都一樣，但是根據(jù)制造工藝的不同，在納米級(jí)別上有很大的個(gè)體差異。研發(fā)過(guò)程中我們漸漸地發(fā)現(xiàn)：對(duì)有這樣差異的一張張晶片，用同一個(gè)掩膜接連制作完全相同的電子回路是很困難的。但是，對(duì)顧客來(lái)說(shuō)，“以前的制造設(shè)備能做到，而納米壓印做不到”，這是無(wú)論如何也說(shuō)不過(guò)去的。于是我們采取了只在壓印的瞬間對(duì)晶片進(jìn)行局部加熱的辦法，使晶片在納米級(jí)別發(fā)生變形以便和掩膜能嚴(yán)密對(duì)準(zhǔn)。半導(dǎo)體制造設(shè)備的一般常識(shí)是“熱是造成變形的原因，需要抑制”，而這次，這一固定觀念被打破了。

——要進(jìn)行無(wú)偏移的重疊壓印，位置和尺寸大小調(diào)整是不可或缺的。關(guān)于這方面怎么樣呢？

日下 敦之

半導(dǎo)體元件是使用各種設(shè)備經(jīng)過(guò)多個(gè)工序制作出來(lái)的。
不斷在前一工序形成的電子回路圖形上描畫(huà)新的圖形，這樣在厚度方向上疊加幾十層的圖形，才制作出產(chǎn)品。所以在疊加時(shí)需要與下面層的位置嚴(yán)密對(duì)準(zhǔn)，否則就不能實(shí)現(xiàn)作為半導(dǎo)體元件的功能。而且下層的電子回路圖形不一定是理想的形狀，在制造過(guò)程中會(huì)發(fā)生各種變形，所以在疊加時(shí)需要對(duì)什么樣的形狀都能靈活地應(yīng)對(duì)。我們管這叫作“重疊”性能，它已成為設(shè)備的重要性能指標(biāo)之一。
我們首先要做的是調(diào)整所有電子回路圖形的大小和形狀，如果這樣還是不能提高精度，就尋找原因。設(shè)備一運(yùn)轉(zhuǎn)溫度就會(huì)發(fā)生變化，而溫度變化會(huì)引起掩膜和晶片的膨脹和收縮，結(jié)果尺寸大小發(fā)生變化。設(shè)計(jì)時(shí)當(dāng)然也考慮了這方面，但在實(shí)際中如果出現(xiàn)了與預(yù)想不一樣的結(jié)果，就要增加測(cè)量偏移程度的點(diǎn)，對(duì)取得的數(shù)據(jù)進(jìn)行確認(rèn)，然后試著改變條件。要反復(fù)進(jìn)行這樣的測(cè)量和改進(jìn)。這樣逐步找到較好的條件。

小笠原 昌輝

關(guān)于尺寸大小不對(duì)的原因，曾考慮過(guò)是不是由于設(shè)定溫度與實(shí)際溫度不同造成的。
關(guān)于溫度，需要控制在0.02度這樣極微小的溫度差范圍內(nèi)。
我記得當(dāng)時(shí)周圍的同事曾問(wèn)我“真的是與所說(shuō)的溫度相同嗎？”這時(shí)候我光回答“是相同的”還不夠，我還改變溫度，或是改變測(cè)量點(diǎn)等等，用排除法不斷地尋找原因。

日下 敦之

關(guān)于重疊的位置調(diào)整，我們?cè)谘谀ず途峡坍?huà)特殊的標(biāo)記以測(cè)量位置關(guān)系。
因?yàn)榭棠z有粘性，所以接觸時(shí)在力的作用下會(huì)發(fā)生變形。這個(gè)變形還會(huì)因樹(shù)脂的種類和狀態(tài)不同而有微妙的不同，所以對(duì)其的精確校正（補(bǔ)償）需要很高的技術(shù)。 

——接下來(lái)請(qǐng)講一講關(guān)于“離?！惫ば虬伞?/p>

小笠原 昌輝

關(guān)于將掩膜從晶片分離，起初我想的是保持水平的狀態(tài)一下子分離比較好，但是這樣將掩膜從晶片分離時(shí)的作用力太大，容易帶來(lái)?yè)p傷，所以需要考慮避免損傷的方法。那么是不是可以像翻書(shū)本的紙頁(yè)那樣從一端慢慢地揭開(kāi)呢？也還是不行，因?yàn)檫@樣傾斜地分離的話，掩膜有可能把晶片上好不容易做出的電子回路圖形給破壞掉。 

小笠原 昌輝

此處也推翻了一直以來(lái)的常識(shí)想法。我們局部抬起晶片使之傾斜，然后讓晶片和掩膜像一對(duì)齒輪那樣運(yùn)動(dòng)，于是就能在完好保持電子回路圖形的狀態(tài)下進(jìn)行分離了。我們一般的常識(shí)是不能抬起晶片的，所以這次是完全相反的思路。
另外，為了不使掩膜受到損害，我們需要注意去除粉塵顆粒。

——粉塵顆粒是指什么？

首藤 伸一

剛才說(shuō)壓印時(shí)提到過(guò)如果有空氣進(jìn)入就不能正確地制作電子回路圖形。其實(shí)同樣麻煩的還有粉塵顆粒。
由于是讓掩膜接觸晶片來(lái)刻畫(huà)電子回路圖形，所以如果中間夾雜粉塵顆粒，有可能會(huì)破壞掩膜的電子回路圖形。

中山 貴博

至少，直徑數(shù)十納米大的粉塵顆粒的數(shù)量要為零，總之對(duì)去除粉塵顆粒的要求比以往設(shè)備的要求還要嚴(yán)格。嚴(yán)格到了這種程度時(shí)就會(huì)發(fā)現(xiàn)連測(cè)量目標(biāo)值的測(cè)量器本身都不存在，于是只能把比現(xiàn)在世上有的較高感度的測(cè)量器所能測(cè)量的下限值還低作為實(shí)際操作時(shí)的目標(biāo)。  

首藤 伸一

這個(gè)作業(yè)要去除的是雖然看不見(jiàn)但確實(shí)存在的某種東西，所以不是那么簡(jiǎn)單的。

中山 貴博

首先是要調(diào)查清楚粉塵顆粒是從哪里發(fā)生的。知道其發(fā)生源后，就要與擔(dān)任機(jī)械設(shè)計(jì)的人員討論是否能去除。就這樣一個(gè)一個(gè)地去干掉可能發(fā)生粉塵顆粒的地方。

首藤 伸一

例如，如果為了抑制粉塵顆粒而追加空調(diào)的機(jī)構(gòu)，那么就要在有限的空間里留出相應(yīng)的空間，而因此有可能需要移動(dòng)其它的機(jī)構(gòu)，或是需要改動(dòng)管道的配置等等。如果做了這些就能減少粉塵顆粒那還好，有時(shí)并不能如愿以償，那就只能是從頭開(kāi)始研究，這一來(lái)就有可能需要反復(fù)修改圖紙了。

中山 貴博

每次實(shí)際進(jìn)行改動(dòng)的都是工廠的人。我們告訴他們?cè)谀睦锱龅搅穗y題以及想怎樣做，于是工廠的人就幫忙做，直到獲得滿意的效果。就是這樣總是麻煩他們。

另外，在推進(jìn)時(shí)與外包承接方的溝通也更加密切超過(guò)以往。由于是以前還沒(méi)有做過(guò)的領(lǐng)域的工作，所以材料的選擇和加工的方法等等，有時(shí)可能在意想不到的地方會(huì)給粉塵顆粒的發(fā)生帶來(lái)很大的影響。有很多情況是外包承接方再次外包出去，這時(shí)候我們與二次承接方也都會(huì)共享材料清單和使用說(shuō)明資料等等。

——真的是一點(diǎn)點(diǎn)腳踏實(shí)地地干啊。

首藤 伸一

粉塵顆粒也是如此，是以1/100、1/1000為單位一點(diǎn)點(diǎn)地減少下來(lái)的，有很多部分不是光靠某個(gè)突破性的技術(shù)橫空出世來(lái)解決的。

中山 貴博

為了提高精度首先進(jìn)行模擬，然后實(shí)際驗(yàn)證是否能達(dá)到預(yù)期結(jié)果，我們的工作就是反復(fù)進(jìn)行這樣的過(guò)程。但是進(jìn)行模擬需要先有“如果這樣這樣做也許能改進(jìn)”的想法才行，所以我認(rèn)為很重要的是能不能想到剛才所提到的與一般常識(shí)相反的思路，或是之前沒(méi)有過(guò)的想法。
發(fā)現(xiàn)新的難題首先會(huì)想自己所在的組能否解決，與此同時(shí)還會(huì)與其他組的人商量，組成了一個(gè)一個(gè)共同解決問(wèn)題的合作圈。所以總能真實(shí)地感覺(jué)是大家一起在干。目標(biāo)是一天比一天高，但是我想我們做到了一邊奔跑一邊反饋地向前邁進(jìn)。

——這次的研發(fā)是與美國(guó)的Canon Nanotechnologies公司（以下簡(jiǎn)稱CNT）合作的。具體是怎么合作的呢？

與從CNT出差來(lái)的人商議 

小笠原 昌輝

CNT是對(duì)納米壓印方式相關(guān)的基礎(chǔ)技術(shù)進(jìn)行研發(fā)，而佳能是把這些技術(shù)應(yīng)用到用于批量生產(chǎn)的設(shè)備上，雙方就是基于這樣的角色分配進(jìn)行的合作。CNT那邊很講求速度，想法也很靈活，有好幾次，讓容易被常識(shí)捆綁的我們這邊都痛感到了自己頭腦的僵化。 

首藤 伸一

與像CNT這樣決策很快的公司合作，我們受到了好的刺激。這次的合作，是進(jìn)行并購(gòu)使其成為集團(tuán)內(nèi)公司，同時(shí)又與其合作搞新事業(yè)，我想這能成為佳能的模范事例。我個(gè)人認(rèn)為這一點(diǎn)也是很有意思的。

——這是佳能以前所沒(méi)有過(guò)的設(shè)備。在研發(fā)過(guò)程中，有沒(méi)有碰到過(guò)新的難題。

小笠原 昌輝

由于是新的方式，在開(kāi)發(fā)過(guò)程中有些事逐漸明朗起來(lái)，但與此同時(shí)，不明白的事也增加了，讓我們實(shí)實(shí)在在地感到了納米壓印技術(shù)的深?yuàn)W。

日下 敦之

由于太細(xì)微了，所以用我們已知的物理現(xiàn)象無(wú)法解釋的情況變多，對(duì)實(shí)際發(fā)生的問(wèn)題無(wú)法用以往的方法進(jìn)行模擬的情況增多。作為擔(dān)任過(guò)程研發(fā)工作的人，我希望能好好地解決它的機(jī)制問(wèn)題。

——既然是研發(fā)了新方式，那么也有新的發(fā)現(xiàn)吧。

首藤 伸一

如果光靠利用過(guò)去積累的技術(shù)，恐怕是走不到今天的。納米壓印技術(shù)與以往的制造設(shè)備相比，無(wú)論是排氣方面還是溫度方面，所要求的精度都超過(guò)了較初時(shí)的設(shè)想，需要進(jìn)行新的技術(shù)研發(fā)。另外，由于發(fā)生各種各樣出乎意料的情況，所以多次需要重新設(shè)計(jì)，費(fèi)了不少周折。不僅是質(zhì)量，在設(shè)計(jì)時(shí)還總是要考慮在成本、空間等各方面都留有余地，我在每天的工作中都感到這一點(diǎn)的重要性。

中山 貴博

通過(guò)參加這項(xiàng)研發(fā)我還明白了一個(gè)道理就是：對(duì)新領(lǐng)域進(jìn)行挑戰(zhàn)的工作，同時(shí)也就是對(duì)該領(lǐng)域的測(cè)量設(shè)備和模擬裝置這些基礎(chǔ)設(shè)備進(jìn)行完善的工作。從零開(kāi)始的挑戰(zhàn)說(shuō)苦當(dāng)然是苦，但我認(rèn)為它也能成為我們自身成長(zhǎng)的食糧。

——在你作為工程師的職業(yè)生涯中，參與這次納米壓印方式半導(dǎo)體制造設(shè)備的研發(fā)意味著什么？

首藤 伸一

有機(jī)會(huì)能參加這種推翻以往常識(shí)的大項(xiàng)目，我想這是很難得的。作為一名技術(shù)人員，我在這一點(diǎn)上感到較大的快樂(lè)和興奮。 

小笠原 昌輝

由于是在前沿技術(shù)方面挑戰(zhàn)，還有來(lái)自顧客的期待，所以當(dāng)然是感到工作很有價(jià)值。作為個(gè)人，之前我參與設(shè)計(jì)的設(shè)備曾經(jīng)失敗，所以我想這次一定要讓它成功。

日下 敦之

以往對(duì)晶片進(jìn)行曝光時(shí)的難題多是佳能這個(gè)半導(dǎo)體制造設(shè)備廠家獨(dú)自進(jìn)行解決的問(wèn)題，但是納米壓印是接觸方式，所以會(huì)在很大程度上受到制造設(shè)備以外各種各樣的影響。
有很多問(wèn)題都是與CNT等公司合作來(lái)解決的，我們深深感到與其他公司合作的必要性，同時(shí)每天都有新的發(fā)現(xiàn)新的刺激。
另外，我自己這次也經(jīng)歷了去位于美國(guó)得克薩斯州奧斯汀的CNT公司長(zhǎng)期出差的經(jīng)驗(yàn)。創(chuàng)業(yè)公司所特有的決策速度之快，以及由于是契約社會(huì)所以極其明確的業(yè)務(wù)分工，以及每個(gè)人都在對(duì)如何進(jìn)行結(jié)果展示、說(shuō)明上下功夫等等，有很多新的發(fā)現(xiàn)，甚至都改變了我的人生觀，這樣的經(jīng)驗(yàn)對(duì)我來(lái)說(shuō)是寶貴的財(cái)產(chǎn)。

首藤 伸一

我經(jīng)歷過(guò)半導(dǎo)體行業(yè)不景氣的金融危機(jī)前后的時(shí)代，而如今半導(dǎo)體行業(yè)又火了起來(lái)，我慶幸自己能在較前沿的領(lǐng)域進(jìn)行挑戰(zhàn)。

——佳能的納米壓印方式半導(dǎo)體制造設(shè)備已經(jīng)于2017年7月向東芝Memory公司的四日市工廠供貨?，F(xiàn)在各位的心情怎樣？

東芝Memory公司四日市工廠正在進(jìn)行調(diào)試的納米壓印方式半導(dǎo)體制造設(shè)備

“FPA-1200NZ2C”

日下 敦之

感到了成功的喜悅。不過(guò)也知道真正的輸贏還要看后面。半導(dǎo)體制造設(shè)備不是交了貨就完事了，為了滿足顧客的要求，交貨后還需要進(jìn)行各種調(diào)試。我認(rèn)為需要正確理解顧客要求的內(nèi)容，并在各種人的幫助下迅速進(jìn)行應(yīng)對(duì)，直到成為顧客能接受的設(shè)備。不過(guò)到了這個(gè)階段，設(shè)備的性能不可能因?yàn)楦淖兡骋稽c(diǎn)而一下子就提高上去了。只能是在預(yù)期有改進(jìn)效果的方面一點(diǎn)點(diǎn)推進(jìn)來(lái)提高性能。

小笠原 昌輝

我也是特別感到輸贏還在后面。我感到市場(chǎng)對(duì)我們的設(shè)備有很大的期待，所以想滿足市場(chǎng)的期待，同時(shí)在市場(chǎng)開(kāi)始使用我們的設(shè)備后還需要對(duì)設(shè)備進(jìn)行改良，所以今后還需要繼續(xù)努力。 

——半導(dǎo)體是支撐現(xiàn)代社會(huì)的東西。而佳能研發(fā)的納米壓印方式關(guān)系到半導(dǎo)體制造設(shè)備下一代標(biāo)準(zhǔn)的制定。關(guān)于這一點(diǎn)各位有什么想法。

中山 貴博

一方面我感到今后的2、3年是決定勝負(fù)的關(guān)鍵，但同時(shí)對(duì)此后的發(fā)展也感到很期待。我曾經(jīng)在研究部門工作，那時(shí)很難有在市場(chǎng)上推出自己產(chǎn)品的機(jī)會(huì)。但是這次由于參與了此設(shè)備的研發(fā)，快的話今年內(nèi)就能收到市場(chǎng)對(duì)我們產(chǎn)品的反饋?，F(xiàn)在制造用于生產(chǎn)半導(dǎo)體元件的納米壓印設(shè)備的廠家只有佳能，所以我感到很有價(jià)值，而且我認(rèn)為它只要能對(duì)社會(huì)作貢獻(xiàn)就行。

首藤 伸一

我是很看好的，覺(jué)得納米壓印方式的這個(gè)設(shè)備能開(kāi)創(chuàng)未來(lái)。今后的半導(dǎo)體會(huì)更細(xì)微化，不僅是放到手機(jī)里，將來(lái)還可能像貼紙一樣貼在人的皮膚上，或是作在隱形眼鏡里等等。我認(rèn)為能以顧客所要求的成本和速度實(shí)現(xiàn)這樣的未來(lái)之夢(mèng)的，只有納米壓印方式。

還有，IoT和AI領(lǐng)域也離不開(kāi)半導(dǎo)體。以往的話，大容量存儲(chǔ)裝置多使用硬盤。而現(xiàn)在，在云計(jì)算服務(wù)所使用的存儲(chǔ)大容量數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)中心，具有小巧且大容量、高速且低耗電優(yōu)勢(shì)的半導(dǎo)體存儲(chǔ)器已成為不可或缺的技術(shù)。半導(dǎo)體被寄予厚望，而我們的工作是研發(fā)制造半導(dǎo)體的設(shè)備，我覺(jué)得我們是在做讓人類社會(huì)變得更舒適方便的工作。

[ 結(jié)尾 ]

打破以往常識(shí)的決心，還有將想法在制造設(shè)備上具體實(shí)現(xiàn)時(shí)的腳踏實(shí)地的苦干。正是因?yàn)橛羞@兩樣，才能熬過(guò)各種艱難，終于研發(fā)出佳能首款納米壓印方式的半導(dǎo)體批量生產(chǎn)設(shè)備?？傆幸惶?，使用半導(dǎo)體的IoT和AI等等科技會(huì)不知不覺(jué)地融入我們的日常生活，實(shí)現(xiàn)比現(xiàn)在要方便得多舒適得多的人類社會(huì)吧。納米壓印也一定會(huì)為實(shí)現(xiàn)這樣的社會(huì)做出貢獻(xiàn)。

[ 采訪結(jié)束后 ]

一般說(shuō)到“首款首個(gè)”都會(huì)是興奮的樣子，而他們不是，自始至終都是很平靜地發(fā)言。
在聽(tīng)他們發(fā)言的過(guò)程中我明白了為什么。因?yàn)樵谒麄兛磥?lái)，有問(wèn)題去解決是理所當(dāng)然的事情。以產(chǎn)業(yè)的發(fā)展和在此基礎(chǔ)之上的人類美好生活為目標(biāo)，誠(chéng)心實(shí)意地滿足顧客的高度期待，這樣的姿態(tài)與佳能企業(yè)理念的“共生”，以及從佳能創(chuàng)業(yè)初期開(kāi)始傳承下來(lái)的行動(dòng)方針“自發(fā)、自治、自覺(jué)”的“三自精神”是一脈相通的。 

采訪與撰稿?。骸∑瑸| 京子

1972年出生于東京都。1998年研究生畢業(yè)，進(jìn)入出版社，在雜志編輯部擔(dān)任記者、編輯工作。從2008年開(kāi)始獨(dú)立，成為自由撰稿人。與他人合著書(shū)籍有《福島廣播電臺(tái)的300天》等。